A capacitive accelerometer using SDB-SOI structure

Yoshinori Matsumoto, Moritaka Iwakiri, Hidekazu Tanaka, Makoto Ishida, Tetsuro Nakamura

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「A capacitive accelerometer using SDB-SOI structure」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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