A model of amorphous silicon deposition in DC glow discharge in silane

Yukio Yamaguchi, Akihiko Sumiyama, Ryu Ichi Hattori, Yukihiko Morokuma, Toshiaki Makabe

研究成果: Article査読

11 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「A model of amorphous silicon deposition in DC glow discharge in silane」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds

Physics & Astronomy