A novel sustaining mechanism in capacitively coupled radio frequency plasma in oxygen

Mari Shibata, Toshiaki Makabe, Nobuhiko Nakano

研究成果: Article査読

14 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「A novel sustaining mechanism in capacitively coupled radio frequency plasma in oxygen」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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