A vertical bubble flow network using inductive-coupling for 3-D CMPs

Hiroki Matsutani, Yasuhiro Take, Daisuke Sasaki, Masayuki Kimura, Yuki Ono, Yukinori Nishiyama, Michihiro Koibuchi, Tadahiro Kuroda, Hideharu Amano

研究成果: Conference contribution

17 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「A vertical bubble flow network using inductive-coupling for 3-D CMPs」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science