Absolute measurement of the excitation rate and density of the excited species in an RF discharge from optical emission spectroscopy

F. Tochikubo, T. Makabe

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抄録

A simple method of ray tracing is adopted to calibrate the absolute value of the net production rate by electron impact of excited species with short radiative lifetime in a discharge. As an example, the net excitation rate and density of Ar(3p5) are measured in the RF glow discharge at 13.56 MHz, 1 Torr in Ar.

本文言語English
論文番号003
ページ(範囲)1133-1137
ページ数5
ジャーナルMeasurement Science and Technology
2
12
DOI
出版ステータスPublished - 1991 12 1

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  • 器械工学
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フィンガープリント

「Absolute measurement of the excitation rate and density of the excited species in an RF discharge from optical emission spectroscopy」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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