Actions of low- and high-energy electrons on the phase transition between E- and H-modes in an inductively coupled plasma in Ar

Yuichiro Hayashi, Yo Mitsui, Tetsuya Tatsumi, Toshiaki Makabe

研究成果: Article査読

6 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Actions of low- and high-energy electrons on the phase transition between E- and H-modes in an inductively coupled plasma in Ar」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy