Amorphization processes in ion implanted Si: Temperature dependence

Teruaki Motooka, Fumihiko Kobayashi, Paul Fons, Takashi Tokuyama, Nobuyoshi Natsuaki

研究成果: Article査読

10 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Amorphization processes in ion implanted Si: Temperature dependence」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy