An AlN cantilever for a wake-up switch triggered by air pressure change

Y. Kaiho, H. Takahashi, Y. Tomimatsu, T. Kobayashi, K. Matsumoto, I. Shimoyama, T. Itoh, R. Maeda

研究成果: Conference article査読

4 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「An AlN cantilever for a wake-up switch triggered by air pressure change」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy