An analysis of substrate heating during a-Si: H Deposition using concentric cylindrical DC glow discharge

Yukio Yamaguchi, Shinji Konno, Kazutami Muramatu, Toshiaki Makabe

研究成果: Article査読

フィンガープリント

「An analysis of substrate heating during a-Si: H Deposition using concentric cylindrical DC glow discharge」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds