Anodic bonding for integrated capacitive sensors

M. Esashi, N. Ura, Y. Matsumoto

研究成果: Conference contribution

40 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Anodic bonding for integrated capacitive sensors」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science