Anomalous electron mobility in Extremely-Thin SOI (ETSOI) diffusion layers with SOI thickness of less than 10 nm and high doping concentration of greater than 1×1018cm-3

Naotoshi Kadotani, Tsunaki Takahashi, Kunro Chen, Tetsuo Kodera, Shunri Oda, Ken Uchida

    研究成果: Conference contribution

    4 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント

    「Anomalous electron mobility in Extremely-Thin SOI (ETSOI) diffusion layers with SOI thickness of less than 10 nm and high doping concentration of greater than 1×1018cm-3」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Engineering & Materials Science

    Physics & Astronomy

    Chemical Compounds