Biaxial angular acceleration sensor with rotational- symmetric spiral channels and MEMS piezoresistive cantilevers

Rihachiro Nakashima, Hidetoshi Takahashi

研究成果: Article査読

フィンガープリント

「Biaxial angular acceleration sensor with rotational- symmetric spiral channels and MEMS piezoresistive cantilevers」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science