Carbon nanotube technologies for future ULSI via interconnects

Yuji Awano

研究成果: Conference article査読

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抄録

We demonstrate the advantages of carbon nanotubes (CNTs) for ULSI interconnections, which we believe that it must be one of the most promising applications for metallic carbon nanotubes. We report present status of CNT material technologies and the potential of metallic CNT vias for future ULSI interconnections.

本文言語English
論文番号07
ページ(範囲)37-44
ページ数8
ジャーナルProgress in Biomedical Optics and Imaging - Proceedings of SPIE
5732
DOI
出版ステータスPublished - 2005 7 21
外部発表はい
イベントQuantum Sensing and Nanophotonic Devices II - San Jose, CA, United States
継続期間: 2005 1 232005 1 27

ASJC Scopus subject areas

  • Electronic, Optical and Magnetic Materials
  • Biomaterials
  • Atomic and Molecular Physics, and Optics
  • Radiology Nuclear Medicine and imaging

フィンガープリント 「Carbon nanotube technologies for future ULSI via interconnects」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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