Carbon nanotube via interconnect technologies: Size-classified catalyst nanoparticles and low-resistance ohmic contact formation

Y. Awano, S. Sato, D. Kondo, M. Ohfuti, A. Kawabata, M. Nihei, N. Yokoyama

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Carbon nanotube via interconnect technologies: Size-classified catalyst nanoparticles and low-resistance ohmic contact formation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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