Characterization of a bonding-in-liquid technique for liquid encapsulation into MEMS devices

Yoshiyuki Okayama, Keijiro Nakahara, Xavier Arouette, Takeshi Ninomiya, Yasuaki Matsumoto, Yoshinori Orimo, Atsushi Hotta, Masaki Omiya, Norihisa Miki

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Characterization of a bonding-in-liquid technique for liquid encapsulation into MEMS devices」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds