Characterization of quaternary (Cr,Al)N-based films synthesized by the cathodic arc method

H. Hasegawa, K. Ohashi, S. Tsukamoto, T. Sato, T. Suzuki

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フィンガープリント

「Characterization of quaternary (Cr,Al)N-based films synthesized by the cathodic arc method」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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