Complete restoration of the subsurface damages in single-crystalline silicon by laser irradiation

Jiwang Yan, Tooru Asami, Tsunemoto Kuriyagawa

研究成果: Paper

フィンガープリント Complete restoration of the subsurface damages in single-crystalline silicon by laser irradiation' の研究トピックを掘り下げます。これらはともに一意のフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science