Crystallographic effects in micro/nanomachining of single-crystal calcium fluoride

Jiwang Yan, Katsuo Syoji, Jun'ichi Tamaki

研究成果: Article査読

44 被引用数 (Scopus)
本文言語English
ページ(範囲)46-51
ページ数6
ジャーナルJournal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
22
1
DOI
出版ステータスPublished - 2004 1月 1
外部発表はい

ASJC Scopus subject areas

  • 凝縮系物理学
  • 電子工学および電気工学

引用スタイル