Cu(In1-xGax)Se2 growth studies by in situ spectroscopic light scattering

R. Scheer, A. Neisser, K. Sakurai, P. Fons, S. Niki

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抄録

The spectroscopic light scattering was used to study the growth of polycrystalline Cu(In1-xGax)Se2 thin films. A three-stage deposition process was used for the growth of the films. The ways to adjust the final roughness of a film was discussed. The spectroscopic light scattering was on-line monitored for process control.

本文言語English
ページ(範囲)2091-2093
ページ数3
ジャーナルApplied Physics Letters
82
13
DOI
出版ステータスPublished - 2003 3 31
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フィンガープリント 「Cu(In<sub>1-x</sub>Ga<sub>x</sub>)Se<sub>2</sub> growth studies by in situ spectroscopic light scattering」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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