Data and modeling of negative ion transport in gases of interest for production of integrated circuits and nanotechnologies

Z. Lj Petrović, Z. M. Raspopović, V. D. Stojanović, J. V. Jovanović, G. Malović, T. Makabe, J. de Urquijo

研究成果: Article査読

52 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Data and modeling of negative ion transport in gases of interest for production of integrated circuits and nanotechnologies」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy

Chemical Compounds