Dependence of driving frequency on capacitively coupled plasma in CF4

Sumie Segawa, Masaru Kurihara, Nobuhiko Nakano, Toshiaki Makabe

研究成果: Article査読

32 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Dependence of driving frequency on capacitively coupled plasma in CF<sub>4</sub>」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy