Deposition of fluoropolymer thin films by vacuum-ultraviolet laser ablation

Y. Ueno, T. Fujii, S. Inoue, F. Kannari

    研究成果: Conference contribution

    抄録

    The paper studies the production of polytefrafluoroethylene (PTFE) thin films by laser ablation using an F2 laser at 157 nm where PTFE exhibits a highest absorption. The thin film deposition was carried out in an Ar atmosphere of approx.200 mTorr.

    本文言語English
    ホスト出版物のタイトルConference Proceedings - Lasers and Electro-Optics Society Annual Meeting
    出版社Publ by IEEE
    ページ211-212
    ページ数2
    ISBN(印刷版)0780319710
    出版ステータスPublished - 1994 1月 1
    イベントProceedings of the Conference on Lasers and Electro-Optics - Anaheim, CA, USA
    継続期間: 1994 5月 81994 5月 13

    出版物シリーズ

    名前Conference Proceedings - Lasers and Electro-Optics Society Annual Meeting
    8

    Other

    OtherProceedings of the Conference on Lasers and Electro-Optics
    CityAnaheim, CA, USA
    Period94/5/894/5/13

    ASJC Scopus subject areas

    • 電子材料、光学材料、および磁性材料
    • 電子工学および電気工学

    フィンガープリント

    「Deposition of fluoropolymer thin films by vacuum-ultraviolet laser ablation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    引用スタイル