Deposition of functional membranes by through-substrate plane-plate dielectric-barrier discharge

H. Kobayashi, H. Kakiuchi, K. Yasutake, T. Suzuki, M. Noborisaka, N. Negishi

研究成果: Conference article査読

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フィンガープリント

「Deposition of functional membranes by through-substrate plane-plate dielectric-barrier discharge」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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