Development of cluster ion source based on modulated pulse power magnetron sputtering technique

C. H. Zhang, H. Tsunoyama, H. Akatsuka, H. Sekiya, T. Nagase, A. Nakajima

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Development of cluster ion source based on modulated pulse power magnetron sputtering technique」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Chemical Compounds

Medicine & Life Sciences