Development of electrothermal MEMS mirror for low voltage micro optical diffusion sensor

Yuki Kiuchi, Yoshihiro Taguchi, Yuji Nagasaka

研究成果: Conference contribution

抄録

A novel micro optical diffusion sensor enabling a high-speed and a small sample volume measurement has been developed. In this paper, a device design and a validity of an electrothermal MEMS mirror are reported.

本文言語English
ホスト出版物のタイトルOMN 2015 Jerusalem - 2015 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, Proceedings
出版社IEEE Computer Society
ISBN(電子版)9781467368346
DOI
出版ステータスPublished - 2015 10月 2
イベントInternational Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, OMN 2015 - Jerusalem, Israel
継続期間: 2015 8月 22015 8月 5

出版物シリーズ

名前International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics
02-05-August-2015
ISSN(印刷版)2160-5033
ISSN(電子版)2160-5041

Other

OtherInternational Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, OMN 2015
国/地域Israel
CityJerusalem
Period15/8/215/8/5

ASJC Scopus subject areas

  • ハードウェアとアーキテクチャ
  • 電子工学および電気工学
  • 電子材料、光学材料、および磁性材料

フィンガープリント

「Development of electrothermal MEMS mirror for low voltage micro optical diffusion sensor」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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