Diagnostics of a wafer interface of a pulsed two-frequency capacitively coupled plasma for oxide etching by emission selected computerized tomography

Toshikazu Fujita, Toshiaki Makabe

研究成果: Article査読

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フィンガープリント 「Diagnostics of a wafer interface of a pulsed two-frequency capacitively coupled plasma for oxide etching by emission selected computerized tomography」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy