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Diagnostics of a wafer interface of a pulsed two-frequency capacitively coupled plasma for oxide etching by emission selected computerized tomography
Toshikazu Fujita, Toshiaki Makabe
常任理事
研究成果
:
Article
›
査読
18
被引用数 (Scopus)
概要
フィンガープリント
フィンガープリント
「Diagnostics of a wafer interface of a pulsed two-frequency capacitively coupled plasma for oxide etching by emission selected computerized tomography」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。
並べ替え順
重み付け
アルファベット順
Physics & Astronomy
tomography
etching
wafers
oxides
negative ions
excitation
charged particles
time measurement
electrodes
microstructure
configurations