Diagnostics of an inductively coupled CF4/Ar plasma

Kazuya Hioki, Hajime Hirata, Shosaku Matsumura, Zoran Lj Petrović, Toshiaki Makabe

研究成果: Article査読

37 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Diagnostics of an inductively coupled CF<sub>4</sub>/Ar plasma」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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