Diagnostics of direct-current-magnetron discharges by the emission-selected computer-tomography technique

S. Miyake, N. Shimura, T. Makabe, A. Itoh

研究成果: Article査読

36 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Diagnostics of direct-current-magnetron discharges by the emission-selected computer-tomography technique」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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