Discrete distribution of implanted and annealed arsenic atoms in silicon nanowires and its effect on device performance

Masashi Uematsu, Kohei M. Itoh, Gennady Mil'nikov, Hideki Minari, Nobuya Mori

研究成果: Article査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Discrete distribution of implanted and annealed arsenic atoms in silicon nanowires and its effect on device performance」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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