Dry etching and low-temperature direct bonding process of lithium niobate wafer for fabricating micro/nano channel device

Toshiyuki Tsuchiya, Koji Sugano, Hideki Takahashi, Hangyeol Seo, Yuriy Pihosh, Yutaka Kazoe, Kazuma Mawatari, Takehiko Kitamori, Osamu Tabata

研究成果: Conference contribution

5 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Dry etching and low-temperature direct bonding process of lithium niobate wafer for fabricating micro/nano channel device」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy

Chemical Compounds