Effect of dilution gas on hardness of hydrogenated amorphous carbon-based films synthesized by atmospheric pressure plasma enhanced CVD

M. Noborisaka, Y. Tachimoto, R. Horikoshi, A. Shirakura, T. Suzuki

研究成果: Conference article査読

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フィンガープリント

「Effect of dilution gas on hardness of hydrogenated amorphous carbon-based films synthesized by atmospheric pressure plasma enhanced CVD」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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