Effect of metastables on a sustaining mechanism in inductively coupled plasma in Ar

Toshikazu Sato, Toshiaki Makabe

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Effect of metastables on a sustaining mechanism in inductively coupled plasma in Ar」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy