Effect of nanoscale surface roughness on the bonding energy of direct-bonded silicon wafers

N. Miki, S. M. Spearing

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フィンガープリント

「Effect of nanoscale surface roughness on the bonding energy of direct-bonded silicon wafers」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy