Effects of bilayer thickness and post-deposition annealing on the mechanical and structural properties of (Ti,Cr,Al)N/(Al,Si)N multilayer coatings

N. Fukumoto, H. Ezura, K. Yamamoto, A. Hotta, T. Suzuki

研究成果: Article査読

21 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Effects of bilayer thickness and post-deposition annealing on the mechanical and structural properties of (Ti,Cr,Al)N/(Al,Si)N multilayer coatings」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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