Effects of dilution gas on characteristics of SiOC(H) films synthesized by atmospheric pressure plasma CVD

Takanori Mori, Taiki Masuko, Akira Shirakura, Tetsuya Suzuki

研究成果: Article査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Effects of dilution gas on characteristics of SiOC(H) films synthesized by atmospheric pressure plasma CVD」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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