Effects of frequency on the two-dimensional structure of capacitively coupled plasma in Ar

T. Kitajima, Y. Takeo, N. Nakano, T. Makabe

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Effects of frequency on the two-dimensional structure of capacitively coupled plasma in Ar」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy