Effects of thermal annealing on phase transformation and microhardness of (TixCryAlz)N films

T. Yamamoto, H. Hasegawa, T. Suzuki, K. Yamamoto

研究成果: Article査読

7 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Effects of thermal annealing on phase transformation and microhardness of (TixCryAlz)N films」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy

Chemical Compounds