Electron transport coefficients in SiH4 and Si2H6 in dc and rf fields

T. Shimada, Y. Nakamura, Z. Lj Petrović, T. Makabe

研究成果: Article査読

19 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Electron transport coefficients in SiH<sub>4</sub> and Si<sub>2</sub>H<sub>6</sub> in dc and rf fields」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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