Electron transport to a substrate in a radio frequency capacitively coupled plasma by the Boltzmann equation

Jun Matsui, Mari Shibata, Nobuhiko Nakano, Toshiaki Makabe

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Electron transport to a substrate in a radio frequency capacitively coupled plasma by the Boltzmann equation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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