Fabrication method of sub-micrometer size planar gap for the micro fabry-perot interferometer

T. Dohi, H. Hayashi, H. Onoe, K. Matsumoto, I. Shimoyama

研究成果: Conference contribution

5 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Fabrication method of sub-micrometer size planar gap for the micro fabry-perot interferometer」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science