Fluorocarbon film for protection from alkaline etchant and elimination of in-use stiction

Yoshinori Matsumoto, Kazumasa Yoshida, Makoto Ishida

研究成果: Paper査読

12 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Fluorocarbon film for protection from alkaline etchant and elimination of in-use stiction」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science