Force controller design based on PQ method for dual-stage actuators in polishing machines

Kenta Seki, Yusaku Shinohara, Makoto Iwasaki, Hiroshi Chinda, Masaki Takahashi

研究成果: Conference contribution

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Force controller design based on PQ method for dual-stage actuators in polishing machines」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science