Functional separation in two frequency operation of an inductively coupled plasma

T. Denda, Y. Miyoshi, Y. Komukai, T. Goto, Z. Lj Petrović, T. Makabe

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Functional separation in two frequency operation of an inductively coupled plasma」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy