Gas barrier properties of diamond-like carbon films synthesized by using remote type microwave plasma CVD under sub-ambient atmospheric pressure

Y. Tachimoto, M. Noborisaka, A. Shirakura, C. Kuroyanagi, T. Suzuki

研究成果: Conference article査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Gas barrier properties of diamond-like carbon films synthesized by using remote type microwave plasma CVD under sub-ambient atmospheric pressure」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy