Hot-pressed Ti-Al targets for synthesizing Ti1-xAlxN films by the arc ion plating method

Ayako Kimura, Tomohiro Murakami, Kunihiro Yamada, Tetsuya Suzuki

研究成果: Article査読

27 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Hot-pressed Ti-Al targets for synthesizing Ti<sub>1-x</sub>Al<sub>x</sub>N films by the arc ion plating method」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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