Impact of Deformation potential increase at Si/SiO2 interfaces on stress-induced electron mobility enhancement in metal-oxide-semiconductor field-effect transistors

Teruyuki Ohashi, Shunri Oda, Ken Uchida

    研究成果: Article査読

    7 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント

    「Impact of Deformation potential increase at Si/SiO2 interfaces on stress-induced electron mobility enhancement in metal-oxide-semiconductor field-effect transistors」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Engineering & Materials Science

    Physics & Astronomy