In-Plane Gyroscope Using a Piezoresistive Beams with Sidewall Doping

Kosuke Abe, Hidetoshi Takahashi, Tomoyuki Takahata, Isao Shimoyama

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント 「In-Plane Gyroscope Using a Piezoresistive Beams with Sidewall Doping」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy