Influence of driving frequency on narrow-gap reactive-ion etching in SF6

Nobuhiko Nakano, Toshiaki Makabe

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Influence of driving frequency on narrow-gap reactive-ion etching in SF6」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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