Influence of negative ions in rf glow discharges in SiH4 at 13.56 MHz

Toshiaki Makabe, Fumiyoshi Tochikubo, Motoho Nishimura

研究成果: Article › 査読

52 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Influence of negative ions in rf glow discharges in SiH4 at 13.56 MHz」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy