Investigation of the high-frequency glow discharge in Ar at 13.56 MHz by spatiotemporal optical emission spectroscopy

F. Tochikubo, T. Kokubo, S. Kakuta, A. Suzuki, T. Makabe

研究成果: Article査読

56 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Investigation of the high-frequency glow discharge in Ar at 13.56 MHz by spatiotemporal optical emission spectroscopy」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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